創新與服務
永續產品與服務
產品服務概要
近年來全球經貿快速變化，高科技和泛半導體領域深受中美貿易衝突、新冠疫情、地區戰爭與新興終端應用等多重大環境變數牽動，市場情況多有循環輪動，更加速全球半導體區域化發展。根據國際數據資訊（IDC）2023 年第四季研究報告顯示，在晶圓代工與封裝測試領域中，台灣廠商於全球製造市占接近5成；此外氣候變遷加劇、環境污染，資源日漸枯竭，推動環保法規日趨嚴格，以元件製造為例，過程中需要大量用電、用水與原物料消耗所帶來的巨量廢棄物、廢液處理問題，因此如何在降低環境污染的情況下進行生產，已成為產業中重要之議題。
信紘科自 1995 年成立以來，以廠務系統整合起家，並致力於高科技製程之廠務供應系統發展，於此領域已累積多年豐富經驗。應對全球半導體區域化及綠色供應鏈趨勢，信紘科自 2012 年起投入綠色製程研發，以綠色製程解決方案提供者為使命，積極朝「循環經濟建廠解決方案提供者」的角色邁進。信紘科一直秉持著「可靠、先進、永續」的核心理念，鞭策自身發展「製程機能水」、「製程特殊廢液處理」、「廠務供應系統整合」三大領域，並以穩固的專業技術基礎，提供彈性的在地化服務，致力為客戶提供高效的整合服務及專屬解決方案，期與客戶攜手走向永續、綠色的製程道路。
信紘科業務發展歷程
廠務供應系統整合服務
信紘科在廠務供應系統領域已有數十年的深耕經驗，不僅為客戶提供潔淨、穩定、安全的完整解決方案，還以即時服務和高品質施工獲得半導體龍頭企業的青睞。廠務供應系統整合主要包括二個部分：機電空調設計規劃與施工、廠務特氣特化供應系統。機電空調設計規劃與施工主要服務涵蓋像是無塵室系統規劃與設計等；廠務特氣特化供應系統則主要包括化學／氣體／研磨液供應系統、二次配工程。
半導體化學供應系統及相關零組件主係將化學品按照製程所需供應的化學種類、比例及需求量，於廠內分階段混和、稀釋、分配，精準且安全的輸送至製程機台供製程所用；半導體特殊氣體供應系統及相關零組件主係依照客戶規格客製，將特殊氣體按照製程所需的濃度及需求量，於廠內分階段混和、儲存、分析、分配，同樣精準且安全的輸送至製程機台供製程所用。
本公司透過特定技術提升化學供應系統之計量精準度、管路潔淨度、控制可靠度，以及特殊氣體供應系統之混合供應量、混合精準度、混合均勻度，通過實時數據監控、自動化生產和計劃排程，整合系統可優化生產流程，減少能源、物料之浪費和延遲，並降低管理成本。此外混合模組與製造皆為台灣製造，協助客戶達到穩定與有效率低碳供應鏈管理目標。
綠色製程服務
信紘科自 2010 年起便積極響應半導體龍頭客戶的號召，投入綠色創新技術，2012 年正式成立研發單位，佈局綠色製程技術的開發。透過與先進製程客戶共同研發，信紘科從問題的核心出發，協助客戶落實化學品削減對策，在 2014 年成功以在地廠商與自研技術，開發出製程機能水，幫助客戶從源頭減量，達到危害物質限用管理的目標；此外，也投入開發化學廢液處理技術，以提供高科技產業先進製程中廢液處理、再利用之解決方案。
信紘科持續致力於綠色製造解決方案的精進，並以【源頭減量 – 原物料使用最小化，廢液活化 – 資源循環最佳化】的思維，驅動綠色製程解決方案不斷創新，以實現綠色製造的全方位目標。未來，本公司將繼續以實際行動回應環境保護與經濟發展的雙重挑戰，透過技術創新、綠色製程的推動，致力打造一個可持續發展的未來。本公司期待在綠色製造的道路上，與產業客戶及合作夥伴攜手前行，共同為地球的永續發展盡一份心力。
源頭減量，原物料使用最小化 – 製程機能水
隨著未來建廠與半導體元件需求增加，將產生巨量化學廢液的問題，加上環保法規越趨嚴格，減水、減廢是高科技製造業不可不面對的議題。能源、水資源、化學品為ESG 三大綠色製造施行面向，機能水從化學品總量管制出發，推行【生產機台源頭減廢】為對策，持續耕耘先進半導體製程的改善方案，透過自有的機能水設備與系統，提供客戶更有效率的表面清洗解決方案，並滿足尖端客戶對於習用危害化學品減量，甚至全面取代的需求。
從濕製程技術與設備的演進可看出，隨著線寬微縮，對晶圓潔淨度要求更加嚴格與困難，既有的清洗材料可能會攻擊導線，讓晶圓上的線路受損，客戶需要在確保晶圓表面清洗效果與降低危害化學品使用中找出可行的解決方案。
信紘科製程機能水清洗原理以超純水為基礎，透過特定方法（如電解、高壓等），運用添加超稀釋化學品，加上客製化的濃度控制與專利混合技術，使其在供應濃度、精準度以及供應流量具有顯著優勢，可應用於先進製程中表面清洗的目的，進而幫助減量／延長或取代習用化學藥液。同時兼顧晶圓清洗品質、提高清洗效率，降低化學品使用，進而達到廠務末端酸、鹼廢液減量。
機能水應用原理
製程機能水設備
專案實例
替代歐盟禁用化學品 NMP 打造綠色製程與清潔生產
N-甲基吡咯烷酮 （N-Methylpyrrolidinone, NMP） 因其生育毒性、發育毒性與健康效應等危害，造成環境負荷，以及現場作業人員的健康安全風險。EU REACH以逐步淘汰為目標，2020 年開始列管限用，2024 年進一步擴大管制範圍。客戶、品牌商與製造商紛紛提出 CSR 宣示，並努力在替代危害物質使用所增加的營運成本，以及減少危害物質對環境與人員健康的危害之間，展開應對措施。NMP 減量，降低環安衛衝擊成了業界的共識與共同目標。如先進製程客戶自 2015 年啟動綠色採購政策，便開始將 NMP 列入管控物質，也開啟一連串原物料替代計畫，目標要先於終端客戶與國際法規標準，自主落實在製程中限用，乃至完全取代。我們積極回應日益嚴格的法規與客戶需求，面對 NMP 將逐步被限用與禁用的趨勢，信紘科推出製程機能水，可做為中和劑置換 NMP，中和光阻劑中的鹼性成份，具備同等清洗效果外，同時減少清洗道次、縮短製程時間，進而增加產出、降低習用化學品使用與廢液處理成本，協助客戶有效地限用管理危害物質，進而達成綠色製程的終極目標。本公司的 CSR 宣示不僅是對客戶的承諾，更是對環境和社會責任的堅持。信紘科將持續推動綠色創新，為客戶提供綠色解決方案，共同建構永續未來的願景。
廢液活化，資源循環最佳化 – 製程特殊廢液
半導體產業濕製程處理已有數十年的發展進程，當中大宗使用的化學品如硫酸、磷酸、氫氟酸等具有相當的危害性以及對環境的破壞，像是造成酸雨公害等影響。近年來的先進製程為求更細緻、更精準的控制效果，持續在化學品上下足苦工，再締造製程佳績的同時，卻也產生更多成分複雜、對環境破壞更嚴重的化學化合物。信紘科的製程特殊廢液處理技術以【廠務廢液活化再生】為出發點，在綠色製造目標下，協助晶圓製造大廠客戶等，進行製程特殊廢液處理。信紘科於 2015 年成功替客戶導入廢硫酸再生系統，並於 2016 年起全面應用於各廠區，使得廢硫酸得以在廠內與氨氮廢液結合後循環使用，將原有需中和的氨氮廢水轉為可用的資源，除了降低廢硫酸委外處理量，也減少了工業級硫酸的外購量，有效的降低廢液對環境的污染，進而回收再利用，以追求永續發展為目標。
本公司之降解雙氧水的技術可以提高低濃度硫酸廢液的處理效能，2023 年已進行約 94,000 噸的廢硫酸回收，達廠內再利用標準。而其中的專有觸媒配方，可以將廢液
中的雙氧水濃度降低至約 10ppm 以下，以便後續進一步使用，或可減少清運產生之碳排量及費用。2023 年，本公司為客戶節省了約 10%-15% 的清運處理費，減少約
12,300 噸的 CO2 排放量。
